快科技 2 月 26 日音尘，ASML Twinscan EXE:5000 EUV 是现辞宇宙上发轫进的 EUV 极紫外光刻机，复古 High-NA 也便是高孔径开云体育(中国)官方网站，Intel 旧年抢先拿下了第一台，目下照旧在俄勒冈州 Fab D1 晶圆厂装配部署了两台，正在垂危地谈判测试中。

Intel 资深首席工程师 Steve Carson 表露，迄今适度，两台 EUV 光刻机照旧分娩了 3 万块晶圆，虽然不算许多，但别忘了这仅仅测试和谈判使用的，并非商用量产，足以解释 Intel 关于新光刻机是何等的嗜好。

Steve Carson 还强调，完成相通的责任，新款光刻机不错将曝光次数从 3 次减少到只需 1 次，科罚程序也从 40 多个减少到不及 10 个，从而大大精真金不怕火技能和资本。

Intel 曾表露，新光刻机的可靠性是上代的大要两倍，但莫得表露具体数据。

ASML EXE:5000 光刻机单次曝光的永诀率不错作念到 8nm，比前代 Low-NA 光刻机的 13.5nm 进步了多达 40％，晶体管密度也提高了 2.9 倍。

虽然，Low-AN 光刻机也能作念到 8nm 的永诀率，但需要两次曝光，不管技能、资本如故良品率齐不够合算。

全速度量产的情况下，ASML EXE:5000 光刻机每小时可分娩 400-500 块晶圆，而现在只好 200 块，后果进步 100-150％之多。

Intel 将会使用 High-NA EUV 光刻机分娩 14A 也便是 1.4nm 级工艺居品，但具体技能和居品不决，有可能在 2026 年傍边量产，大略用于改日的 Nova Lake、Razer Lake。

将在本年下半年量产的 Intel 18A 1.8nm 工艺，仍旧使用现存的 Low-NA EUV 光刻机，对应居品包括代号 Panther Lake 的下代酷睿、代号 Clearwater Forest 的下代至强。

二者齐照旧全功能闲居启动，并开展了客户测试。

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